光刻胶组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02148233.0

申请日：

2002-08-15

公开(公告)号：

CN1310089C

公开(公告)日：

2003-04-02

发明(设计)人：

J·F·卡米隆 S·L·阿布拉加

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

G03F7004

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

张宜红

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20020815 授权公告日:20070411
2007-04-11	授权	授权
2003-04-02	公开	公开
2004-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

光刻胶组合物 [P].

J·M·明茨 ;

M·J·考夫曼 ;

N·S·杰西曼 .

中国专利 :CN1811595A ,2006-08-02

[2]

光刻胶组合物 [P].

S·H·韦勒 ;

R·W·考茨 ;

R·K·巴尔 .

中国专利 :CN1384399A ,2002-12-11

[3]

光刻胶组合物 [P].

J·F·卡梅伦 ;

D·W·李 ;

P·特雷夫纳斯 ;

G·J·斯万森 ;

J.W.宋 .

中国专利 :CN1821869A ,2006-08-23

[4]

光刻胶组合物 [P].

市川幸司 ;

福井信人 ;

落合钢志郎 .

中国专利 :CN1167982C ,1999-11-17

[5]

光刻胶组合物 [P].

山下裕子 ;

安藤信雄 .

中国专利 :CN102117013A ,2011-07-06

[6]

光刻胶组合物 [P].

釜渊明 ;

山下裕子 .

中国专利 :CN102023479A ,2011-04-20

[7]

光刻胶组合物 [P].

金相奏 ;

康升镇 ;

成始震 ;

末次益实 ;

山田爱理 .

中国专利 :CN100524019C ,2003-04-02

[8]

光刻胶组合物 [P].

山口训史 ;

金淳信 ;

吉田勋 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN102033426A ,2011-04-27

[9]

光刻胶组合物 [P].

嶋田雅彦 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN101995770A ,2011-03-30

[10]

光刻胶组合物 [P].

俞昇濬 ;

林翼喆 ;

金昌昱 ;

姜纪旭 .

中国专利 :CN1109925C ,1998-02-18

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