光刻胶组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97115414.7

申请日：

1997-07-16

公开(公告)号：

CN1109925C

公开(公告)日：

1998-02-18

发明(设计)人：

俞昇濬林翼喆金昌昱姜纪旭

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G03F7008

IPC分类号：

H01J2918

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨丽琴;田舍人

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101325509978 IPC(主分类):G03F 7/008 专利号:ZL971154147 申请日:19970716 授权公告日:20030528 终止日期:20110716
1999-10-06	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
1998-02-18	公开	公开
2003-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶组合物 [P].

J·F·卡梅伦 ;

S·J·姜 ;

J·W·成 .

中国专利 :CN103076720A ,2013-05-01

[2]

光刻胶组合物 [P].

J·F·卡梅隆 .

中国专利 :CN1667510A ,2005-09-14

[3]

光刻胶组合物 [P].

李明琦 ;

E·阿恰达 ;

刘骢 ;

陈庆隆 ;

山田晋太郎 ;

C-B·徐 ;

J·玛蒂亚 .

中国专利 :CN102799068B ,2012-11-28

[4]

光刻胶组合物 [P].

J·F·卡梅伦 ;

S·J·姜 ;

J·W·成 .

中国专利 :CN1837957A ,2006-09-27

[5]

KrF光刻胶组合物及光刻胶膜 [P].

方书农 ;

陈海 .

中国专利 :CN119596639A ,2025-03-11

[6]

光刻胶添加剂及光刻胶组合物 [P].

李青松 ;

刘永祥 ;

杨鹏 ;

韩红彦 ;

焦成成 .

中国专利 :CN119591780A ,2025-03-11

[7]

光刻胶组合物 [P].

S·H·韦勒 ;

R·W·考茨 ;

R·K·巴尔 .

中国专利 :CN1384399A ,2002-12-11

[8]

光刻胶组合物 [P].

J·F·卡梅伦 ;

D·W·李 ;

P·特雷夫纳斯 ;

G·J·斯万森 ;

J.W.宋 .

中国专利 :CN1821869A ,2006-08-23

[9]

光刻胶组合物 [P].

市川幸司 ;

福井信人 ;

落合钢志郎 .

中国专利 :CN1167982C ,1999-11-17

[10]

光刻胶组合物 [P].

山下裕子 ;

安藤信雄 .

中国专利 :CN102117013A ,2011-07-06

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