纳米压印模板、系统以及压印方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410044777.8

申请日：

2014-02-07

公开(公告)号：

CN103926789B

公开(公告)日：

2014-07-16

发明(设计)人：

程鑫崔德虎李自平明静张众

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区西丽大学城南方科技大学第二科研楼403

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

H01L2167 B82Y1000

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584397703 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2014100447778 申请日:20140207
2021-04-16	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 合同备案号:X2021980002191 让与人:南方科技大学受让人:深圳市雕拓科技有限公司发明名称:纳米压印模板、系统以及压印方法申请日:20140207 申请公布日:20140716 授权公告日:20160420 许可种类:排他许可备案日期:20210329
2014-07-16	公开	公开
2016-04-20	授权	授权

共 50 条

[1]

纳米压印模板、纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

侯俊 ;

李冬泽 ;

李佳育 .

中国专利 :CN109085738A ,2018-12-25

[2]

压印模板及压印方法 [P].

周雪原 .

中国专利 :CN111443571B ,2024-04-09

[3]

压印模板及压印方法 [P].

周雪原 .

中国专利 :CN111443571A ,2020-07-24

[4]

压印模板和压印方法 [P].

谭伟 ;

郭康 ;

谷新 ;

路彦辉 .

中国专利 :CN109164676A ,2019-01-08

[5]

压印模板和压印方法 [P].

郭康 .

中国专利 :CN109240040A ,2019-01-18

[6]

纳米压印模板、其制备方法及纳米压印方法 [P].

姜英杰 ;

刘超 ;

李大元 .

中国专利 :CN118259539A ,2024-06-28

[7]

纳米压印方法及纳米压印模具 [P].

赵建国 ;

陈妍如 .

中国专利 :CN118605080B ,2025-05-27

[8]

纳米压印方法及纳米压印模具 [P].

赵建国 ;

陈妍如 .

中国专利 :CN118605080A ,2024-09-06

[9]

纳米压印模板 [P].

尹广春 ;

A.克雷伯斯 ;

韩源 ;

罗龙 .

中国专利 :CN213601033U ,2021-07-02

[10]

压印模板制备系统和方法、模板及步进式纳米压印方法 [P].

李洋 ;

杨海波 ;

陈宗镁 ;

田遵义 ;

谈浩森 .

中国专利 :CN121115399A ,2025-12-12

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