纳米压印方法及纳米压印模具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410790770.4

申请日：

2024-06-18

公开(公告)号：

CN118605080B

公开(公告)日：

2025-05-27

发明(设计)人：

赵建国陈妍如

申请人：

联合微电子中心有限责任公司

申请人地址：

401332 重庆市沙坪坝区沙坪坝西园一路28号附2号

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

公开

国省代码：

重庆市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-06	公开	公开
2025-05-27	授权	授权
2024-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20240618

共 50 条

[1]

纳米压印方法及纳米压印模具 [P].

赵建国 ;

陈妍如 .

中国专利 :CN118605080A ,2024-09-06

[2]

纳米压印模具、制备方法及纳米压印方法 [P].

卢英卓 ;

曹清华 ;

刘超 .

中国专利 :CN119575755A ,2025-03-07

[3]

纳米压印模板、纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

侯俊 ;

李冬泽 ;

李佳育 .

中国专利 :CN109085738A ,2018-12-25

[4]

一种纳米压印模具、纳米压印装置和纳米压印方法 [P].

王健 ;

李建 ;

陈召 ;

覃一锋 ;

张文余 ;

黄东升 .

中国专利 :CN110262186A ,2019-09-20

[5]

压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN112198759A ,2021-01-08

[6]

压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN112198759B ,2024-11-26

[7]

纳米压印模具及纳米压印的方法 [P].

褚浩宇 ;

曹清华 ;

李大元 .

中国专利 :CN118444526B ,2024-09-24

[8]

纳米压印模具及纳米压印的方法 [P].

褚浩宇 ;

曹清华 ;

李大元 .

中国专利 :CN118444526A ,2024-08-06

[9]

纳米压印方法及纳米压印装置 [P].

路彦辉 ;

谷新 ;

郭康 ;

刘震 ;

张笑 ;

谭伟 .

中国专利 :CN109116679A ,2019-01-01

[10]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

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