压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011132054.5

申请日：

2020-10-21

公开(公告)号：

CN112198759A

公开(公告)日：

2021-01-08

发明(设计)人：

陈福成

申请人：

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

郭凤杰

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更事项:申请人变更前:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司变更后:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司变更事项:地址变更前:312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号变更后:312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
2021-01-08	公开	公开
2021-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20201021

共 50 条

[1]

压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN112198759B ,2024-11-26

[2]

纳米压印方法及纳米压印模具 [P].

赵建国 ;

陈妍如 .

中国专利 :CN118605080B ,2025-05-27

[3]

纳米压印方法及纳米压印模具 [P].

赵建国 ;

陈妍如 .

中国专利 :CN118605080A ,2024-09-06

[4]

压印装置、压印方法和压印模具 [P].

末平信人 ;

关淳一 ;

稻秀树 .

中国专利 :CN101292195A ,2008-10-22

[5]

压印模具、压印模具的制作方法及波导结构 [P].

彭绯 ;

周仁 ;

沈洪磊 ;

郝芳 .

中国专利 :CN121008444A ,2025-11-25

[6]

纳米压印模具、制备方法及纳米压印方法 [P].

卢英卓 ;

曹清华 ;

刘超 .

中国专利 :CN119575755A ,2025-03-07

[7]

压印模具以及压印模具制造方法 [P].

黄胜铭 ;

林圣凱 ;

陈志强 ;

张晖谷 ;

鍾佳欣 ;

王潍淇 ;

王铭瑞 ;

吕仁贵 ;

罗再昇 ;

沈煌凱 .

中国专利 :CN107861335A ,2018-03-30

[8]

压印模具的制作方法 [P].

谢自民 ;

王亚平 ;

平财明 ;

林涛 .

中国专利 :CN111427233A ,2020-07-17

[9]

纳米压印模具及纳米压印的方法 [P].

褚浩宇 ;

曹清华 ;

李大元 .

中国专利 :CN118444526B ,2024-09-24

[10]

纳米压印模具及纳米压印的方法 [P].

褚浩宇 ;

曹清华 ;

李大元 .

中国专利 :CN118444526A ,2024-08-06

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