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一种化学机械抛光液
被引:0
申请号
:
CN202110003918.1
申请日
:
2021-01-04
公开(公告)号
:
CN114716915A
公开(公告)日
:
2022-07-08
发明(设计)人
:
李昀
荆建芬
马健
杨俊雅
姚颖
周靖宇
周文婷
宋凯
蔡鑫元
倪宇飞
申请人
:
申请人地址
:
201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层
IPC主分类号
:
C09G102
IPC分类号
:
代理机构
:
北京大成律师事务所 11352
代理人
:
李佳铭;王芳
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-07-08
公开
公开
共 50 条
[1]
一种化学机械抛光液
[P].
马健
论文数:
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
马健
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荆建芬
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
荆建芬
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杨俊雅
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杨俊雅
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王曦
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王曦
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郑闪闪
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郑闪闪
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蔡鑫元
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蔡鑫元
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唐浩杰
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唐浩杰
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周靖宇
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周靖宇
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张然
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张然
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魏佳
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魏佳
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陆弘毅
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
陆弘毅
.
中国专利
:CN118271968A
,2024-07-02
[2]
一种化学机械抛光液
[P].
杨俊雅
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杨俊雅
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荆建芬
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姚颖
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周靖宇
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黄悦锐
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倪宇飞
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李恒
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蔡鑫元
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蔡鑫元
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中国专利
:CN113122142A
,2021-07-16
[3]
一种化学机械抛光液
[P].
杨俊雅
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
杨俊雅
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马健
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姚颖
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姚颖
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黄悦锐
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黄悦锐
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倪宇飞
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
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倪宇飞
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李恒
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蔡鑫元
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
蔡鑫元
.
中国专利
:CN113122142B
,2024-04-12
[4]
一种化学机械抛光液及其应用
[P].
马健
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邱欢
.
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:CN114686888A
,2022-07-01
[5]
一种化学机械抛光液
[P].
杨俊雅
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安集微电子(上海)有限公司
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汪国豪
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:CN111378972B
,2024-09-13
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一种化学机械抛光液
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马健
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潘依君
.
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:CN109972145A
,2019-07-05
[7]
一种化学机械抛光液
[P].
杨俊雅
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汪国豪
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,2020-07-07
[8]
一种化学机械抛光液
[P].
周辉
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齐芯微(绍兴)电子材料科技有限公司
齐芯微(绍兴)电子材料科技有限公司
周辉
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周烈
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齐芯微(绍兴)电子材料科技有限公司
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周烈
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罗爱清
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罗爱清
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中国专利
:CN118516045B
,2024-11-29
[9]
一种化学机械抛光液
[P].
张建
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卞鹏程
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,2019-07-05
[10]
一种化学机械抛光液
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杨俊雅
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