一种化学机械抛光液

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201711439518.5
申请日
2017-12-27
公开(公告)号
CN109971353B
公开(公告)日
2019-07-05
发明(设计)人
杨俊雅 张建 荆建芬 宋凯 马健 蔡鑫元 李恒 卞鹏程
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层,以及第3层的部分区域
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
C23F304
代理机构
北京大成律师事务所 11352
代理人
李佳铭;沈汶波
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种化学机械抛光液 [P]. 
张建 ;
荆建芬 ;
杨俊雅 ;
马健 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
潘依君 ;
卞鹏程 .
中国专利 :CN109971357A ,2019-07-05
[2]
一种化学机械抛光液 [P]. 
马健 ;
张建 ;
杨俊雅 ;
荆建芬 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
李恒 ;
潘依君 .
中国专利 :CN109972145A ,2019-07-05
[3]
一种化学机械抛光液 [P]. 
周辉 ;
周烈 ;
罗爱清 .
中国专利 :CN118516045B ,2024-11-29
[4]
一种化学机械抛光液 [P]. 
周辉 ;
周烈 ;
罗爱清 .
中国专利 :CN118516045A ,2024-08-20
[5]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
杨俊雅 ;
荆建芬 ;
张建 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
姚颖 ;
潘依君 ;
杜玲曦 ;
王春梅 .
中国专利 :CN108250978A ,2018-07-06
[6]
一种化学机械抛光液 [P]. 
杨俊雅 ;
马健 ;
荆建芬 ;
蔡鑫元 ;
宋凯 ;
汪国豪 .
中国专利 :CN111378972B ,2024-09-13
[7]
一种化学机械抛光液 [P]. 
杨俊雅 ;
马健 ;
荆建芬 ;
蔡鑫元 ;
宋凯 ;
汪国豪 .
中国专利 :CN111378972A ,2020-07-07
[8]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
张建 ;
荆建芬 ;
杨俊雅 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
姚颖 ;
潘依君 ;
杜玲曦 ;
王春梅 ;
王雨春 .
中国专利 :CN108251845A ,2018-07-06
[9]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
马健 ;
荆建芬 ;
杨俊雅 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
汪国豪 ;
卞鹏程 .
中国专利 :CN111378378A ,2020-07-07
[10]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
张建 ;
陈宝明 ;
宋凯 ;
邱腾飞 ;
张乐平 .
中国专利 :CN105273636A ,2016-01-27