一种化学机械抛光液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611231879.6

申请日：

2016-12-28

公开(公告)号：

CN108250978A

公开(公告)日：

2018-07-06

发明(设计)人：

杨俊雅荆建芬张建宋凯蔡鑫元姚颖潘依君杜玲曦王春梅

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21306 C23F304

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;沈汶波

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-06	公开	公开
2020-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20161228

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

姚颖 ;

潘依君 ;

杜玲曦 ;

王春梅 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108251845A ,2018-07-06

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

张建 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

马健 ;

蔡鑫元 ;

李恒 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN109971353B ,2019-07-05

[3]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

马健 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

汪国豪 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN111378378A ,2020-07-07

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118516045B ,2024-11-29

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

马健 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

潘依君 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN109971357A ,2019-07-05

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

马健 ;

张建 ;

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

李恒 ;

潘依君 .

中国专利 :CN109972145A ,2019-07-05

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118516045A ,2024-08-20

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

马健 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

汪国豪 .

中国专利 :CN111378972B ,2024-09-13

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

马健 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

汪国豪 .

中国专利 :CN111378972A ,2020-07-07

[10]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

马健 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

李昀 ;

姚颖 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

汪国豪 ;

常宾 ;

邱欢 .

中国专利 :CN114686888A ,2022-07-01

← 1 2 3 4 5 →