阻抗匹配装置、阻抗匹配方法及基片加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210343983.X

申请日：

2012-09-17

公开(公告)号：

CN103687267A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

刘建生

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760650800 IPC(主分类):H05H 1/46 专利号:ZL201210343983X 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2017-03-22	授权	授权
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581677279 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201210343983X 申请日:20120917
2014-03-26	公开	公开

共 50 条

[1]

阻抗匹配装置和阻抗匹配方法 [P].

杨京 ;

韦刚 ;

卫晶 .

中国专利 :CN109148250A ,2019-01-04

[2]

阻抗匹配装置及阻抗匹配方法 [P].

吴开文 .

中国专利 :CN103379724A ,2013-10-30

[3]

阻抗匹配方法、阻抗匹配系统及等离子体加工设备 [P].

韦刚 ;

武晔 .

中国专利 :CN103377869A ,2013-10-30

[4]

阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备 [P].

张超 ;

陈鹏 ;

王东 .

中国专利 :CN106376168B ,2019-11-29

[5]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体加工设备 [P].

成晓阳 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

刘春明 ;

苏恒毅 .

中国专利 :CN107293466A ,2017-10-24

[6]

阻抗匹配装置 [P].

金宰显 ;

李相元 ;

李容官 .

中国专利 :CN102742366B ,2012-10-17

[7]

阻抗匹配装置 [P].

松永基 .

中国专利 :CN113796165A ,2021-12-14

[8]

阻抗匹配方法和阻抗匹配系统 [P].

金宰显 ;

李相元 .

中国专利 :CN105594122B ,2016-05-18

[9]

阻抗匹配器以及阻抗匹配方法 [P].

孔亚辉 .

中国专利 :CN120016989A ,2025-05-16

[10]

阻抗匹配系统及阻抗匹配方法 [P].

师帅涛 .

中国专利 :CN103903950B ,2014-07-02

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