阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610223170.5

申请日：

2016-04-13

公开(公告)号：

CN107293466A

公开(公告)日：

2017-10-24

发明(设计)人：

成晓阳韦刚卫晶刘春明苏恒毅

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-24	公开	公开
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20160413
2019-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备 [P].

张超 ;

陈鹏 ;

王东 .

中国专利 :CN106376168B ,2019-11-29

[2]

阻抗匹配系统、阻抗匹配方法及半导体加工设备 [P].

卫晶 ;

成晓阳 ;

李兴存 ;

韦刚 .

中国专利 :CN107256821A ,2017-10-17

[3]

阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法 [P].

成晓阳 .

中国专利 :CN103166595A ,2013-06-19

[4]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

杜凤彪 .

中国专利 :CN118737790A ,2024-10-01

[5]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

杜凤彪 .

中国专利 :CN118737790B ,2025-10-10

[6]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备 [P].

卫晶 ;

陈星 ;

韦刚 ;

华跃平 .

中国专利 :CN112259433A ,2021-01-22

[7]

阻抗匹配器以及阻抗匹配方法 [P].

孔亚辉 .

中国专利 :CN120016989A ,2025-05-16

[8]

匹配网络、阻抗匹配器以及阻抗匹配方法 [P].

简师节 .

中国专利 :CN110858530A ,2020-03-03

[9]

阻抗匹配方法及匹配器 [P].

成晓阳 ;

吴韦 ;

陈鹏 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN115020182A ,2022-09-06

[10]

阻抗匹配方法及匹配器 [P].

成晓阳 ;

吴韦 ;

陈鹏 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN115020182B ,2025-09-12

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