阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310324026.0

申请日：

2023-03-29

公开(公告)号：

CN118737790B

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

李文庆韦刚卫晶杜凤彪

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H03H7/38

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726

代理人：

王献茹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20230329
2025-10-10	授权	授权
2024-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

杜凤彪 .

中国专利 :CN118737790A ,2024-10-01

[2]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备 [P].

卫晶 ;

陈星 ;

韦刚 ;

华跃平 .

中国专利 :CN112259433A ,2021-01-22

[3]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体加工设备 [P].

成晓阳 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

刘春明 ;

苏恒毅 .

中国专利 :CN107293466A ,2017-10-24

[4]

阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法 [P].

成晓阳 .

中国专利 :CN103166595A ,2013-06-19

[5]

阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备 [P].

张超 ;

陈鹏 ;

王东 .

中国专利 :CN106376168B ,2019-11-29

[6]

阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

李文庆 .

中国专利 :CN113066712B ,2024-10-25

[7]

阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

李文庆 .

中国专利 :CN113066712A ,2021-07-02

[8]

半导体工艺设备及其阻抗匹配方法 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

杨京 ;

蒋书棋 ;

张迪 .

中国专利 :CN113921366B ,2024-07-23

[9]

半导体工艺设备及其阻抗匹配方法 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

杨京 ;

蒋书棋 ;

张迪 .

中国专利 :CN113921366A ,2022-01-11

[10]

一种阻抗匹配方法及半导体工艺设备 [P].

李跃鹏 .

中国专利 :CN120768280A ,2025-10-10

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