一种阻抗匹配方法及半导体工艺设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410384529.1

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN120768280A

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

李跃鹏

申请人：

北京华丞电子有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号院1号楼4层4S01

IPC主分类号：

H03H7/38

IPC分类号：

H01J37/32

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726

代理人：

李也庚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-10	公开	公开
2025-10-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H03H 7/38申请日:20240329

共 50 条

[1]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

杜凤彪 .

中国专利 :CN118737790A ,2024-10-01

[2]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

杜凤彪 .

中国专利 :CN118737790B ,2025-10-10

[3]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备 [P].

卫晶 ;

陈星 ;

韦刚 ;

华跃平 .

中国专利 :CN112259433A ,2021-01-22

[4]

半导体工艺设备及其阻抗匹配方法 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

杨京 ;

蒋书棋 ;

张迪 .

中国专利 :CN113921366A ,2022-01-11

[5]

半导体工艺设备及其阻抗匹配方法 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

杨京 ;

蒋书棋 ;

张迪 .

中国专利 :CN113921366B ,2024-07-23

[6]

阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

李文庆 .

中国专利 :CN113066712B ,2024-10-25

[7]

阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

李文庆 .

中国专利 :CN113066712A ,2021-07-02

[8]

阻抗匹配方法和装置、半导体工艺设备 [P].

翟浩 ;

兰云峰 .

中国专利 :CN115050626B ,2025-11-11

[9]

阻抗匹配方法和装置、半导体工艺设备 [P].

翟浩 ;

兰云峰 .

中国专利 :CN115050626A ,2022-09-13

[10]

射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备 [P].

卫晶 ;

邹丽影 ;

陈星 ;

韦刚 ;

王威威 ;

张晓博 .

中国专利 :CN115376969B ,2025-04-08

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