阻抗匹配方法和装置、半导体工艺设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210723754.4

申请日：

2022-06-24

公开(公告)号：

CN115050626B

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

翟浩兰云峰

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H03H7/38 C23C16/40 C23C16/455 C23C16/505 C23C16/52

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

阻抗匹配方法和装置、半导体工艺设备 [P].

翟浩 ;

兰云峰 .

中国专利 :CN115050626A ,2022-09-13

[2]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备 [P].

卫晶 ;

陈星 ;

韦刚 ;

华跃平 .

中国专利 :CN112259433A ,2021-01-22

[3]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

杜凤彪 .

中国专利 :CN118737790A ,2024-10-01

[4]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

杜凤彪 .

中国专利 :CN118737790B ,2025-10-10

[5]

阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

李文庆 .

中国专利 :CN113066712B ,2024-10-25

[6]

阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

李文庆 .

中国专利 :CN113066712A ,2021-07-02

[7]

半导体工艺设备及其阻抗匹配方法 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

杨京 ;

蒋书棋 ;

张迪 .

中国专利 :CN113921366A ,2022-01-11

[8]

半导体工艺设备及其阻抗匹配方法 [P].

李文庆 ;

韦刚 ;

杨京 ;

蒋书棋 ;

张迪 .

中国专利 :CN113921366B ,2024-07-23

[9]

射频源装置及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

刘鹏飞 ;

杨京 ;

郝慧超 .

中国专利 :CN120164771A ,2025-06-17

[10]

射频源装置及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备 [P].

刘鹏飞 ;

杨京 ;

郝慧超 .

中国专利 :CN120164771B ,2025-12-12

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