匹配网络、阻抗匹配器以及阻抗匹配方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810974543.1

申请日：

2018-08-24

公开(公告)号：

CN110858530A

公开(公告)日：

2020-03-03

发明(设计)人：

简师节

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;姜春咸

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180824
2020-03-03	公开	公开

共 50 条

[1]

阻抗匹配器以及阻抗匹配方法 [P].

孔亚辉 .

中国专利 :CN120016989A ,2025-05-16

[2]

阻抗匹配电路以及阻抗匹配方法 [P].

陈玉国 .

中国专利 :CN1744434A ,2006-03-08

[3]

阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备 [P].

张超 ;

陈鹏 ;

王东 .

中国专利 :CN106376168B ,2019-11-29

[4]

阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法 [P].

成晓阳 .

中国专利 :CN103166595A ,2013-06-19

[5]

阻抗匹配方法及匹配器 [P].

成晓阳 ;

吴韦 ;

陈鹏 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN115020182A ,2022-09-06

[6]

阻抗匹配器 [P].

鲁力 ;

沈爱国 .

中国专利 :CN214177278U ,2021-09-10

[7]

匹配器及其阻抗匹配方法 [P].

周航 ;

李光健 ;

陈虹 .

中国专利 :CN114244307A ,2022-03-25

[8]

匹配器及其阻抗匹配方法 [P].

周航 ;

李光健 ;

陈虹 .

中国专利 :CN114244307B ,2024-10-11

[9]

阻抗匹配方法及匹配器 [P].

成晓阳 ;

吴韦 ;

陈鹏 ;

赵晋荣 .

中国专利 :CN115020182B ,2025-09-12

[10]

阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体加工设备 [P].

成晓阳 ;

韦刚 ;

卫晶 ;

刘春明 ;

苏恒毅 .

中国专利 :CN107293466A ,2017-10-24

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