双嵌套铜互连结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310136117.8

申请日：

2013-04-18

公开(公告)号：

CN104112734A

公开(公告)日：

2014-10-22

发明(设计)人：

肖德元徐依协

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L23522

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588952760 IPC(主分类):H01L 23/522 专利申请号:2013101361178 申请日:20130418
2017-02-15	授权	授权
2014-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[2]

铜互连结构及其制作方法 [P].

拉比尔·伊斯拉姆 ;

阿乌格里诺斯·V·格拉特斯 ;

克文·卢卡斯 ;

斯坦利·M·费里皮克 ;

拉纳思·温卡特拉曼 .

中国专利 :CN1232291A ,1999-10-20

[3]

铜互连结构及其制作方法 [P].

赵宇航 ;

康晓旭 .

中国专利 :CN102376684B ,2012-03-14

[4]

一种铜互连结构及其制作方法 [P].

朱宝 ;

陈琳 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN112018078A ,2020-12-01

[5]

铜互连结构的制作方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN102881633B ,2013-01-16

[6]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

徐强 ;

郑春生 ;

张文广 .

中国专利 :CN102324400A ,2012-01-18

[7]

铜互连结构的制作方法 [P].

洪明杰 ;

贾晓峰 ;

陈献龙 .

中国专利 :CN115036270A ,2022-09-09

[8]

铜互连结构制作方法 [P].

邢中豪 ;

赵波 .

中国专利 :CN112259502B ,2021-01-22

[9]

互连结构及其制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105633006B ,2016-06-01

[10]

铜互连结构的制作方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN105633005A ,2016-06-01

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