互连结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410604130.6

申请日：

2014-10-30

公开(公告)号：

CN105633006B

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23538

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-22	授权	授权
2016-06-01	公开	公开
2016-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101667879595 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014106041306 申请日:20141030

共 50 条

[1]

互连结构的制作方法 [P].

卜伟海 .

中国专利 :CN103594417A ,2014-02-19

[2]

金属互连结构及其制作方法 [P].

张海洋 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN103378064B ,2013-10-30

[3]

双嵌套铜互连结构及其制作方法 [P].

肖德元 ;

徐依协 .

中国专利 :CN104112734A ,2014-10-22

[4]

互连结构的制作方法 [P].

童立峰 ;

汪武平 ;

张春庆 .

中国专利 :CN102693934B ,2012-09-26

[5]

互连结构的制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681466A ,2014-03-26

[6]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[7]

铜互连结构及其制作方法 [P].

拉比尔·伊斯拉姆 ;

阿乌格里诺斯·V·格拉特斯 ;

克文·卢卡斯 ;

斯坦利·M·费里皮克 ;

拉纳思·温卡特拉曼 .

中国专利 :CN1232291A ,1999-10-20

[8]

金属互连结构及其制作方法 [P].

王贺莹 ;

黄冠群 ;

陈广龙 .

中国专利 :CN108054137A ,2018-05-18

[9]

局部互连结构的制作方法 [P].

李敏 ;

吴永玉 .

中国专利 :CN106952866A ,2017-07-14

[10]

金属互连结构的制作方法 [P].

赵丹 .

中国专利 :CN114429935A ,2022-05-03

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