互连结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110068919.0

申请日：

2011-03-22

公开(公告)号：

CN102693934B

公开(公告)日：

2012-09-26

发明(设计)人：

童立峰汪武平张春庆

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-26	公开	公开
2014-07-02	授权	授权
2012-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101349730092 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011100689190 申请日:20110322

共 50 条

[1]

互连结构的制作方法 [P].

卜伟海 .

中国专利 :CN103594417A ,2014-02-19

[2]

互连结构的制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681466A ,2014-03-26

[3]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[4]

局部互连结构的制作方法 [P].

李敏 ;

吴永玉 .

中国专利 :CN106952866A ,2017-07-14

[5]

金属互连结构的制作方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN103117246A ,2013-05-22

[6]

互连结构的制作方法 [P].

陈碧钦 ;

何伟业 ;

聂佳相 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102446813A ,2012-05-09

[7]

互连结构的制作方法 [P].

周俊卿 ;

何其暘 ;

胡敏达 ;

曹轶宾 .

中国专利 :CN105633011B ,2016-06-01

[8]

互连结构的制作方法 [P].

陈碧钦 ;

何伟业 ;

聂佳相 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102446817A ,2012-05-09

[9]

互连结构的制作方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN103928390B ,2014-07-16

[10]

金属互连结构及其制作方法 [P].

张海洋 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN103378064B ,2013-10-30

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