互连结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010509437.X

申请日：

2010-10-14

公开(公告)号：

CN102446817A

公开(公告)日：

2012-05-09

发明(设计)人：

陈碧钦何伟业聂佳相孔祥涛

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-06	授权	授权
2012-12-19	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101487372621 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201010509437X 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121115
2012-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101271731128 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201010509437X 申请日:20101014
2012-05-09	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构的制作方法 [P].

陈碧钦 ;

何伟业 ;

聂佳相 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102446813A ,2012-05-09

[2]

互连结构的制作方法 [P].

周俊卿 ;

何其暘 ;

胡敏达 ;

曹轶宾 .

中国专利 :CN105633011B ,2016-06-01

[3]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

徐强 ;

郑春生 ;

张文广 .

中国专利 :CN102324400A ,2012-01-18

[4]

互连结构的制作方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN103928390B ,2014-07-16

[5]

互连结构的制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681466A ,2014-03-26

[6]

局部互连结构的制作方法 [P].

李敏 ;

吴永玉 .

中国专利 :CN106952866A ,2017-07-14

[7]

铜互连结构的制作方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN102881633B ,2013-01-16

[8]

金属互连结构的制作方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 .

中国专利 :CN102915960A ,2013-02-06

[9]

局部互连结构的制作方法 [P].

王冬江 ;

黄敬勇 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103928392A ,2014-07-16

[10]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102324401B ,2012-01-18

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