局部互连结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610006700.0

申请日：

2016-01-06

公开(公告)号：

CN106952866A

公开(公告)日：

2017-07-14

发明(设计)人：

李敏吴永玉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101739973125 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2016100067000 申请日:20160106
2020-03-24	授权	授权
2017-07-14	公开	公开

共 50 条

[1]

金属互连结构的制作方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN103117246A ,2013-05-22

[2]

局部互连结构的制作方法 [P].

王冬江 ;

黄敬勇 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103928392A ,2014-07-16

[3]

互连结构的制作方法 [P].

童立峰 ;

汪武平 ;

张春庆 .

中国专利 :CN102693934B ,2012-09-26

[4]

互连结构的制作方法 [P].

卜伟海 .

中国专利 :CN103594417A ,2014-02-19

[5]

互连结构的制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681466A ,2014-03-26

[6]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[7]

互连结构的制作方法 [P].

陈碧钦 ;

何伟业 ;

聂佳相 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102446813A ,2012-05-09

[8]

互连结构的制作方法 [P].

周俊卿 ;

何其暘 ;

胡敏达 ;

曹轶宾 .

中国专利 :CN105633011B ,2016-06-01

[9]

互连结构的制作方法 [P].

陈碧钦 ;

何伟业 ;

聂佳相 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102446817A ,2012-05-09

[10]

金属互连结构的制作方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 .

中国专利 :CN102915960A ,2013-02-06

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