法拉第屏蔽件及反应腔室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720920790.4

申请日：

2017-07-27

公开(公告)号：

CN207183209U

公开(公告)日：

2018-04-03

发明(设计)人：

刘建生陈鹏王文章常大磊徐奎丁培军姜鑫先张璐苏振宁宋巧丽贾强

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-03	授权	授权

共 50 条

[1]

法拉第屏蔽件及反应腔室 [P].

刘建生 ;

陈鹏 ;

王文章 ;

常大磊 ;

徐奎 ;

丁培军 ;

姜鑫先 ;

张璐 ;

苏振宁 ;

宋巧丽 ;

贾强 .

中国专利 :CN107301943A ,2017-10-27

[2]

一种法拉第屏蔽反应腔室 [P].

廖海涛 ;

张飞 .

中国专利 :CN211629038U ,2020-10-02

[3]

一种法拉第屏蔽反应腔室 [P].

廖海涛 ;

张飞 .

中国专利 :CN111161993A ,2020-05-15

[4]

法拉第屏蔽装置及半导体工艺腔室 [P].

简师节 .

中国专利 :CN115642069A ,2023-01-24

[5]

法拉第屏蔽桶、环形件、腔室组件及重溅射腔室 [P].

刘建生 ;

侯珏 ;

张彦召 ;

佘清 .

中国专利 :CN110396663A ,2019-11-01

[6]

法拉第屏蔽以及具有该法拉第屏蔽的装置 [P].

山口智责 ;

滨田直哉 ;

梅泽俊辅 ;

割石卓男 ;

纸谷知宏 ;

森部尚己 .

中国专利 :CN102077100A ,2011-05-25

[7]

等离子处理装置及其法拉第屏蔽装置 [P].

许颂临 .

中国专利 :CN202839531U ,2013-03-27

[8]

可变效率的法拉第屏蔽 [P].

M·F·戴维斯 ;

F·胡施达郎 .

中国专利 :CN1503856A ,2004-06-09

[9]

法拉第气缸 [P].

郭建辉 .

中国专利 :CN2779133Y ,2006-05-10

[10]

法拉第杯 [P].

庄锦贤 ;

张元河 ;

蔡济全 ;

陈平阳 ;

施介文 ;

彭圣修 .

中国专利 :CN202363408U ,2012-08-01

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