一种法拉第屏蔽反应腔室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020120986.7

申请日：

2020-01-19

公开(公告)号：

CN211629038U

公开(公告)日：

2020-10-02

发明(设计)人：

廖海涛张飞

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325

代理人：

金辉

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20210927 变更事项:专利权人变更前权利人:无锡市邑勉微电子有限公司变更后权利人:无锡邑文电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801 变更后权利人:214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
2020-10-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种法拉第屏蔽反应腔室 [P].

廖海涛 ;

张飞 .

中国专利 :CN111161993A ,2020-05-15

[2]

法拉第屏蔽件及反应腔室 [P].

刘建生 ;

陈鹏 ;

王文章 ;

常大磊 ;

徐奎 ;

丁培军 ;

姜鑫先 ;

张璐 ;

苏振宁 ;

宋巧丽 ;

贾强 .

中国专利 :CN207183209U ,2018-04-03

[3]

法拉第屏蔽件及反应腔室 [P].

刘建生 ;

陈鹏 ;

王文章 ;

常大磊 ;

徐奎 ;

丁培军 ;

姜鑫先 ;

张璐 ;

苏振宁 ;

宋巧丽 ;

贾强 .

中国专利 :CN107301943A ,2017-10-27

[4]

法拉第屏蔽装置及半导体工艺腔室 [P].

简师节 .

中国专利 :CN115642069A ,2023-01-24

[5]

法拉第屏蔽以及具有该法拉第屏蔽的装置 [P].

山口智责 ;

滨田直哉 ;

梅泽俊辅 ;

割石卓男 ;

纸谷知宏 ;

森部尚己 .

中国专利 :CN102077100A ,2011-05-25

[6]

一种磁增强法拉第屏蔽结构 [P].

李冰妍 .

中国专利 :CN216563009U ,2022-05-17

[7]

一种射频放电系统及其法拉第屏蔽结构 [P].

高飞 ;

王友年 .

中国专利 :CN209282164U ,2019-08-20

[8]

可变效率的法拉第屏蔽 [P].

M·F·戴维斯 ;

F·胡施达郎 .

中国专利 :CN1503856A ,2004-06-09

[9]

法拉第屏蔽桶、环形件、腔室组件及重溅射腔室 [P].

刘建生 ;

侯珏 ;

张彦召 ;

佘清 .

中国专利 :CN110396663A ,2019-11-01

[10]

一种射频放电系统及其法拉第屏蔽结构 [P].

高飞 ;

王友年 .

中国专利 :CN109686645A ,2019-04-26

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