金属膜抛光用垫和使用该金属膜抛光用垫的金属膜的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880016787.3

申请日：

2008-03-19

公开(公告)号：

CN101681825A

公开(公告)日：

2010-03-24

发明(设计)人：

加藤充菊池博文冈本知大加藤晋哉

申请人：

申请人地址：

日本冈山县

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

C08J514 B24B3700

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

张平元

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-03-24	公开	公开
2011-11-09	授权	授权
2010-05-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001463364 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2008800167873 申请日:20080319

共 50 条

[1]

金属膜材的边缘抛光方法及金属膜材和应用 [P].

宋坤 ;

刘江 ;

侯凯 .

中国专利 :CN114855257A ,2022-08-05

[2]

金属膜材的边缘抛光方法及金属膜材和应用 [P].

宋坤 ;

刘江 ;

侯凯 .

中国专利 :CN114855257B ,2024-06-25

[3]

金属膜抛光浆料组合物及使用其减少金属膜抛光时产生的划痕的方法 [P].

朴昌墉 ;

朴钟大 ;

申宗哲 ;

金宰贤 ;

李玖和 ;

朴民成 .

中国专利 :CN105658757A ,2016-06-08

[4]

臧世伟 .

中国专利 :CN117626262A ,2024-03-01

[5]

余德广 ;

洪晓冬 .

中国专利 :CN220947070U ,2024-05-14

[6]

金属膜的制造方法、金属膜及其应用 [P].

中岛诚二 ;

早瀬哲生 ;

森哲也 .

中国专利 :CN101784696A ,2010-07-21

[7]

金属膜和金属膜的形成方法 [P].

加纳丈嘉 ;

川村浩一 .

中国专利 :CN101103138A ,2008-01-09

[8]

金属膜形成用组合物的制造方法、金属膜的制造方法、金属膜、金属膜层叠体和金属膜形成用组合物的制造装置 [P].

佐藤光史 ;

永井裕己 .

中国专利 :CN112601840A ,2021-04-02

[9]

用于金属膜的CMP浆料组合物和抛光方法 [P].

朴京主 ;

俞龙植 .

中国专利 :CN109415598A ,2019-03-01

[10]

载金属膜 [P].

沃尔特·朱达 ;

查尔斯·W·克罗伊格 ;

R·托德·隆巴德 .

中国专利 :CN100453154C ,2003-10-29

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