金属膜抛光浆料组合物及使用其减少金属膜抛光时产生的划痕的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480058695.7

申请日：

2014-10-21

公开(公告)号：

CN105658757A

公开(公告)日：

2016-06-08

发明(设计)人：

朴昌墉朴钟大申宗哲金宰贤李玖和朴民成

申请人：

申请人地址：

韩国仁川

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

顾晋伟;苏虹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101688558167 IPC(主分类):C09K 3/14 专利申请号:2014800586957 申请日:20141021
2019-02-19	授权	授权
2016-06-08	公开	公开

共 50 条

[1]

金属膜抛光用垫和使用该金属膜抛光用垫的金属膜的抛光方法 [P].

加藤充 ;

菊池博文 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

中国专利 :CN101681825A ,2010-03-24

[2]

用于金属膜的CMP浆料组合物和抛光方法 [P].

朴京主 ;

俞龙植 .

中国专利 :CN109415598A ,2019-03-01

[3]

金属膜材的边缘抛光方法及金属膜材和应用 [P].

宋坤 ;

刘江 ;

侯凯 .

中国专利 :CN114855257A ,2022-08-05

[4]

金属膜材的边缘抛光方法及金属膜材和应用 [P].

宋坤 ;

刘江 ;

侯凯 .

中国专利 :CN114855257B ,2024-06-25

[5]

金属膜形成用组合物的制造方法、金属膜的制造方法、金属膜、金属膜层叠体和金属膜形成用组合物的制造装置 [P].

佐藤光史 ;

永井裕己 .

中国专利 :CN112601840A ,2021-04-02

[6]

金属膜的制造方法、底层组合物、金属膜及其应用 [P].

中岛诚二 ;

早瀬哲生 ;

森哲也 .

中国专利 :CN101796217A ,2010-08-04

[7]

产生含金属膜的方法 [P].

D·D·施魏因富特 ;

L·迈尔 ;

S·V·克伦克 ;

S·魏戈尼 ;

C·H·温特 ;

K·布莱克尼 ;

N·韦拉滕加西里卡图格 ;

T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .

中国专利 :CN111727272A ,2020-09-29

[8]

产生含金属膜的方法 [P].

L·迈尔 ;

D·D·施魏因富特 ;

D·瓦尔德曼 ;

C·H·温特 ;

K·布莱克尼 ;

S·V·克伦克 ;

S·魏戈尼 ;

N·韦拉滕加西里卡图格 ;

T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .

中国专利 :CN111727271A ,2020-09-29

[9]

产生含金属膜的方法 [P].

L·迈尔 ;

D·D·施魏因富特 ;

D·瓦尔德曼 ;

C·H·温特 ;

K·布莱克尼 ;

S·V·克伦克 ;

S·魏戈尼 ;

N·韦拉滕加西里卡图格 ;

T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .

德国专利 :CN111727271B ,2024-04-02

[10]

金属膜制造方法、底层组合物、金属膜及其用途 [P].

森哲也 ;

中岛诚二 .

中国专利 :CN101479404B ,2009-07-08

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