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产生含金属膜的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880079468.0
申请日：
2018-11-09
公开(公告)号：
CN111727271B
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
L·迈尔 D·D·施魏因富特 D·瓦尔德曼 C·H·温特 K·布莱克尼 S·V·克伦克 S·魏戈尼 N·韦拉滕加西里卡图格 T·M·A·N·卡鲁纳拉特
申请人：
巴斯夫欧洲公司 韦恩州立大学
申请人地址：
德国莱茵河畔路德维希港
IPC主分类号：
C23C16/20
IPC分类号：
C23C16/06 C23C16/08 C23C16/455 C07F5/06 C07F17/00
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
肖威;刘金辉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-02 授权 授权
共 50 条
[1]
产生含金属膜的方法 [P]. 
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
D·瓦尔德曼 ;
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
S·V·克伦克 ;
S·魏戈尼 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN111727271A ,2020-09-29
[2]
产生含金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
S·魏戈尼 ;
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN111727272A ,2020-09-29
[3]
生产含金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
F·阿贝尔斯 ;
L·迈尔 ;
D·勒夫勒 ;
D·瓦尔德曼 .
中国专利 :CN109844172A ,2019-06-04
[4]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN113939609B ,2025-03-04
[5]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN113939609A ,2022-01-14
[6]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN113906158B ,2025-01-10
[7]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN113906158A ,2022-01-07
[8]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
D·舍施克维茨 ;
K·I·莱什琴斯卡 .
中国专利 :CN112384639A ,2021-02-19
[9]
铝前体和生成含金属膜的方法 [P]. 
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
S·魏戈尼 ;
D·瓦尔德曼 .
中国专利 :CN111954674A ,2020-11-17
[10]
产生含金属或含半金属的膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
A·G·赫夫纳格尔 ;
H·威尔默 ;
D·罗夫勒 ;
S·魏戈尼 ;
K·希尔勒-阿恩特 ;
C·H·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN114729449A ,2022-07-08
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