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铝前体和生成含金属膜的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980024905.3
申请日：
2019-04-10
公开(公告)号：
CN111954674A
公开(公告)日：
2020-11-17
发明(设计)人：
C·H·温特 K·布莱克尼 L·迈尔 D·D·施魏因富特 S·魏戈尼 D·瓦尔德曼
申请人：
申请人地址：
德国莱茵河畔路德维希港
IPC主分类号：
C07F506
IPC分类号：
C23C1612 C23C16455
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
肖威;刘金辉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-04-30 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C07F 5/06 申请日:20190410
2020-11-17 公开 公开
共 50 条
[1]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
D·舍施克维茨 ;
K·I·莱什琴斯卡 .
中国专利 :CN112384639A ,2021-02-19
[2]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN113939609A ,2022-01-14
[3]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN113906158B ,2025-01-10
[4]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN113939609B ,2025-03-04
[5]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN113906158A ,2022-01-07
[6]
生产含金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
F·阿贝尔斯 ;
L·迈尔 ;
D·勒夫勒 ;
D·瓦尔德曼 .
中国专利 :CN109844172A ,2019-06-04
[7]
产生含金属膜的方法 [P]. 
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
D·瓦尔德曼 ;
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
S·V·克伦克 ;
S·魏戈尼 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN111727271A ,2020-09-29
[8]
产生含金属膜的方法 [P]. 
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
D·瓦尔德曼 ;
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
S·V·克伦克 ;
S·魏戈尼 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN111727271B ,2024-04-02
[9]
产生含金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
S·魏戈尼 ;
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN111727272A ,2020-09-29
[10]
生成金属膜的方法 [P]. 
F·阿贝尔斯 ;
D·D·施魏因富特 ;
K·马托斯 ;
D·勒夫勒 ;
M·阿尔夫 ;
F·布拉斯伯格 ;
T·绍布 ;
J·施皮尔曼 ;
A·科斯特 ;
B·加斯帕 .
中国专利 :CN108291302B ,2018-07-17
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