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生成含金属或半金属膜的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980046332.4
申请日：
2019-07-04
公开(公告)号：
CN112384639A
公开(公告)日：
2021-02-19
发明(设计)人：
D·D·施魏因富特 L·迈尔 S·V·克伦克 D·舍施克维茨 K·I·莱什琴斯卡
申请人：
申请人地址：
德国莱茵河畔路德维希港
IPC主分类号：
C23C1618
IPC分类号：
C23C1606 C23C16455
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
张双双;刘金辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-02-19 公开 公开
共 50 条
[1]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN113939609B ,2025-03-04
[2]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN113906158A ,2022-01-07
[3]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN113939609A ,2022-01-14
[4]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN113906158B ,2025-01-10
[5]
铝前体和生成含金属膜的方法 [P]. 
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
S·魏戈尼 ;
D·瓦尔德曼 .
中国专利 :CN111954674A ,2020-11-17
[6]
产生含金属或含半金属的膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
A·G·赫夫纳格尔 ;
H·威尔默 ;
D·罗夫勒 ;
S·魏戈尼 ;
K·希尔勒-阿恩特 ;
C·H·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN114729449A ,2022-07-08
[7]
产生含金属或含半金属的膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
A·G·赫夫纳格尔 ;
H·威尔默 ;
D·罗夫勒 ;
S·魏戈尼 ;
K·希尔勒-阿恩特 ;
C·H·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN114729449B ,2025-06-17
[8]
生产含金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
F·阿贝尔斯 ;
L·迈尔 ;
D·勒夫勒 ;
D·瓦尔德曼 .
中国专利 :CN109844172A ,2019-06-04
[9]
产生包含金属或半金属的膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
S·魏戈尼 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 .
中国专利 :CN112204168A ,2021-01-08
[10]
产生含金属膜的方法 [P]. 
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
D·瓦尔德曼 ;
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
S·V·克伦克 ;
S·魏戈尼 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN111727271B ,2024-04-02
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