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产生包含金属或半金属的膜的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980034840.0
申请日：
2019-06-04
公开(公告)号：
CN112204168A
公开(公告)日：
2021-01-08
发明(设计)人：
D·D·施魏因富特 S·魏戈尼 L·迈尔 S·V·克伦克
申请人：
申请人地址：
德国莱茵河畔路德维希港
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1656
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
肖威;刘金辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-01-08 公开 公开
2021-07-02 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20190604
共 50 条
[1]
产生含金属或含半金属的膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
A·G·赫夫纳格尔 ;
H·威尔默 ;
D·罗夫勒 ;
S·魏戈尼 ;
K·希尔勒-阿恩特 ;
C·H·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN114729449A ,2022-07-08
[2]
产生含金属或含半金属的膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
A·G·赫夫纳格尔 ;
H·威尔默 ;
D·罗夫勒 ;
S·魏戈尼 ;
K·希尔勒-阿恩特 ;
C·H·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN114729449B ,2025-06-17
[3]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
D·舍施克维茨 ;
K·I·莱什琴斯卡 .
中国专利 :CN112384639A ,2021-02-19
[4]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN113939609B ,2025-03-04
[5]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN113906158A ,2022-01-07
[6]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN113939609A ,2022-01-14
[7]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN113906158B ,2025-01-10
[8]
金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造方法、金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜以及金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造装置 [P]. 
白井昌志 ;
二瓶央 .
中国专利 :CN107109642A ,2017-08-29
[9]
金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造方法、金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜以及金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造装置 [P]. 
白井昌志 ;
二瓶央 .
中国专利 :CN107075675A ,2017-08-18
[10]
产生含金属膜的方法 [P]. 
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
D·瓦尔德曼 ;
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
S·V·克伦克 ;
S·魏戈尼 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·M·A·N·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN111727271B ,2024-04-02
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