学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造方法、金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜以及金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201580058152.X
申请日：
2015-11-04
公开(公告)号：
CN107109642A
公开(公告)日：
2017-08-29
发明(设计)人：
白井昌志 二瓶央
申请人：
申请人地址：
日本山口县
IPC主分类号：
C23C1636
IPC分类号：
C23C1642 C23C16448 H01L21318
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
庞东成
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-07-05 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/36 申请公布日:20170829
2017-08-29 公开 公开
2017-10-03 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101750965683 IPC(主分类):C23C 16/36 专利申请号:201580058152X 申请日:20151104
共 50 条
[1]
金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造方法、金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜以及金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造装置 [P]. 
白井昌志 ;
二瓶央 .
中国专利 :CN107075675A ,2017-08-18
[2]
金属碳氮化物层和生成金属碳氮化物层的方法 [P]. 
R·皮通耐克 ;
J·加西亚 ;
R·韦森巴彻 ;
K·鲁兹－尤迪尔 .
中国专利 :CN101243204A ,2008-08-13
[3]
混合气体供给装置、金属氮化膜的制造装置及金属氮化膜的制造方法 [P]. 
村田逸人 ;
水野理规 ;
安达啓辅 ;
铃木克昌 .
中国专利 :CN115698373A ,2023-02-03
[4]
混合气体供给装置、金属氮化膜的制造装置及金属氮化膜的制造方法 [P]. 
村田逸人 ;
水野理规 ;
安达啓辅 ;
铃木克昌 .
日本专利 :CN115698373B ,2025-03-14
[5]
产生包含金属或半金属的膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
S·魏戈尼 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 .
中国专利 :CN112204168A ,2021-01-08
[6]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
D·舍施克维茨 ;
K·I·莱什琴斯卡 .
中国专利 :CN112384639A ,2021-02-19
[7]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN113939609B ,2025-03-04
[8]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN113906158A ,2022-01-07
[9]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN113939609A ,2022-01-14
[10]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN113906158B ,2025-01-10
12345