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生成金属膜的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680069590.0
申请日：
2016-11-29
公开(公告)号：
CN108291302B
公开(公告)日：
2018-07-17
发明(设计)人：
F·阿贝尔斯 D·D·施魏因富特 K·马托斯 D·勒夫勒 M·阿尔夫 F·布拉斯伯格 T·绍布 J·施皮尔曼 A·科斯特 B·加斯帕
申请人：
申请人地址：
德国莱茵河畔路德维希港
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1606 C07F9547 C07F502 C07F702 C23C1618
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
张双双;刘金辉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-05-04 授权 授权
2018-12-21 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20161129
2018-07-17 公开 公开
共 50 条
[1]
生产含金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
F·阿贝尔斯 ;
L·迈尔 ;
D·勒夫勒 ;
D·瓦尔德曼 .
中国专利 :CN109844172A ,2019-06-04
[2]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN113939609A ,2022-01-14
[3]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN113906158B ,2025-01-10
[4]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN113939609B ,2025-03-04
[5]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN113906158A ,2022-01-07
[6]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
D·舍施克维茨 ;
K·I·莱什琴斯卡 .
中国专利 :CN112384639A ,2021-02-19
[7]
铝前体和生成含金属膜的方法 [P]. 
C·H·温特 ;
K·布莱克尼 ;
L·迈尔 ;
D·D·施魏因富特 ;
S·魏戈尼 ;
D·瓦尔德曼 .
中国专利 :CN111954674A ,2020-11-17
[8]
金属膜的制造方法、金属膜及其应用 [P]. 
中岛诚二 ;
早瀬哲生 ;
森哲也 .
中国专利 :CN101784696A ,2010-07-21
[9]
金属膜の生成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2018536771A ,2018-12-13
[10]
金属膜的形成方法 [P]. 
酒井达也 ;
松木安生 ;
河口和雄 .
中国专利 :CN101365821A ,2009-02-11
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