金属膜の生成方法[ja]

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申请号
JP20180546760
申请日
2016-11-29
公开(公告)号
JP2018536771A
公开(公告)日
2018-12-13
发明(设计)人
申请人
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IPC主分类号
C23C16/455
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
金属膜の生成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6854294B2 ,2021-04-07
[2]
金属膜及び金属膜の形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6304681B2 ,2018-04-04
[3]
生成金属膜的方法 [P]. 
F·阿贝尔斯 ;
D·D·施魏因富特 ;
K·马托斯 ;
D·勒夫勒 ;
M·阿尔夫 ;
F·布拉斯伯格 ;
T·绍布 ;
J·施皮尔曼 ;
A·科斯特 ;
B·加斯帕 .
中国专利 :CN108291302B ,2018-07-17
[4]
金属膜形成方法 [P]. 
织田真也 ;
人罗俊实 .
中国专利 :CN110952077B ,2020-04-03
[5]
金属膜形成方法 [P]. 
织田真也 ;
人罗俊实 .
中国专利 :CN105386008A ,2016-03-09
[6]
金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7240654B2 ,2023-03-16
[7]
金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6920631B2 ,2021-08-18
[8]
金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6547930B2 ,2019-07-24
[9]
金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7261410B2 ,2023-04-20
[10]
金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6945120B2 ,2021-10-06