微光刻投射曝光装置的照明系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080068869.X

申请日：

2010-08-30

公开(公告)号：

CN103097955A

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

M.帕特拉 M.施瓦布

申请人：

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

邱军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-19	授权	授权
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468535485 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201080068869X 申请日:20100830
2013-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M·德冈瑟 ;

V·戴维登科 ;

T·科布 ;

F·施莱塞纳 ;

S·希尔特 ;

W·霍吉利 .

中国专利 :CN104656378B ,2015-05-27

[2]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M.德冈瑟 ;

V.戴维登科 ;

T.科布 ;

F.施莱塞纳 ;

S.希尔特 ;

W.霍格勒 .

中国专利 :CN105745580B ,2016-07-06

[3]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M·德冈瑟 ;

V·戴维登科 ;

T·科布 ;

F·施莱塞纳 ;

S·希尔特 ;

W·霍吉利 .

中国专利 :CN104656379A ,2015-05-27

[4]

微光刻投射曝光装置的照明系统 [P].

M.德冈瑟 ;

D.菲奥尔卡 ;

G-W.齐格勒 .

中国专利 :CN102884480B ,2013-01-16

[5]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M.帕特拉 .

中国专利 :CN104718499A ,2015-06-17

[6]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

简.霍恩 ;

克里斯琴.肯普特 ;

沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特 .

中国专利 :CN103034075A ,2013-04-10

[7]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

达米安·菲奥尔卡 ;

拉尔夫·米勒 ;

安德拉斯·梅杰 .

中国专利 :CN101762987B ,2010-06-30

[8]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

尼尔斯·迪克曼 ;

曼弗雷德·莫尔 ;

克里斯琴·赫蒂奇 ;

奥利弗·纳特 .

中国专利 :CN101636695B ,2010-01-27

[9]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

斯蒂芬.泽尔特 ;

关彦彬 ;

安德拉斯.G.梅杰 ;

曼弗雷德.莫尔 ;

约翰尼斯.艾森门格 ;

达米安.菲奥尔卡 ;

简.霍恩 ;

马库斯.德冈瑟 ;

弗洛里安.巴赫 ;

迈克尔.帕特拉 ;

约翰尼斯.万格勒 ;

迈克尔.莱 .

中国专利 :CN103345128A ,2013-10-09

[10]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

达米安.菲奥尔卡 ;

丹尼尔.沃尔多夫 ;

英戈.桑格 .

中国专利 :CN102866600A ,2013-01-09

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