用于晶圆盒的气体填充装置及气体填充系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710642287.1

申请日：

2017-07-31

公开(公告)号：

CN109326546A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

邱义君陈春忠黄俊凯呂至誠

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区松江工业区西部科技工业园区文吉路500号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334

代理人：

谢志为

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20170731
2019-02-12	公开	公开
2021-08-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/673 申请公布日:20190212

共 50 条

[1]

用于晶圆盒的气体填充装置及气体填充系统 [P].

邱义君 ;

黄俊凯 ;

呂至誠 ;

陈春忠 .

中国专利 :CN109326545A ,2019-02-12

[2]

气体填充装置、气体填充系统、气体填充方法以及移动装置 [P].

大川内荣治 .

中国专利 :CN102575808A ,2012-07-11

[3]

气体填充装置及气体填充方法 [P].

稻木秀介 ;

宫崎翔 ;

内村治弘 ;

山下显 .

中国专利 :CN102667303A ,2012-09-12

[4]

晶圆装卸台及净化气体填充方法 [P].

林延安 ;

刘祥超 ;

杨小军 .

中国专利 :CN101752282A ,2010-06-23

[5]

气体填充装置 [P].

菅野学享 ;

猿田雅已 ;

岸田肇 .

中国专利 :CN1266966A ,2000-09-20

[6]

燃料气体填充系统以及燃料气体填充方法 [P].

内田浩司 ;

吉永知文 .

中国专利 :CN106461160A ,2017-02-22

[7]

吸引用吸嘴、吸引装置、气体填充装置、气体消耗装置及气体填充系统 [P].

小宫健嗣 ;

近藤俊行 ;

大森英世 ;

山田规靖 ;

石井邦拓 .

中国专利 :CN103797292A ,2014-05-14

[8]

气体填充装置和气体填充方法 [P].

高野雅士 ;

名仓见治 ;

姥拓郎 .

中国专利 :CN104676241A ,2015-06-03

[9]

气体填充装置和气体填充方法 [P].

名仓见治 ;

高木一 ;

姥拓郎 .

中国专利 :CN104712901A ,2015-06-17

[10]

晶片盒气体填充装置 [P].

周传华 .

中国专利 :CN202712139U ,2013-01-30

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