晶圆装卸台及净化气体填充方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810204778.9

申请日：

2008-12-17

公开(公告)号：

CN101752282A

公开(公告)日：

2010-06-23

发明(设计)人：

林延安刘祥超杨小军

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2100 B65D8120 B65B3104 F17C600

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-18	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101330730129 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2008102047789 公开日:20100623
2010-06-23	公开	公开
2010-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005898677 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2008102047789 申请日:20081217

共 50 条

[1]

用于晶圆盒的气体填充装置及气体填充系统 [P].

邱义君 ;

陈春忠 ;

黄俊凯 ;

呂至誠 .

中国专利 :CN109326546A ,2019-02-12

[2]

用于晶圆盒的气体填充装置及气体填充系统 [P].

邱义君 ;

黄俊凯 ;

呂至誠 ;

陈春忠 .

中国专利 :CN109326545A ,2019-02-12

[3]

晶圆装卸及充气系统 [P].

邱义君 ;

黄俊凯 ;

吕至诚 ;

陈春忠 ;

傅承祖 ;

蔡升富 .

中国专利 :CN109755164A ,2019-05-14

[4]

气体填充装置及气体填充方法 [P].

稻木秀介 ;

宫崎翔 ;

内村治弘 ;

山下显 .

中国专利 :CN102667303A ,2012-09-12

[5]

气体填充装置、气体填充系统、气体填充方法以及移动装置 [P].

大川内荣治 .

中国专利 :CN102575808A ,2012-07-11

[6]

燃料气体填充系统以及燃料气体填充方法 [P].

内田浩司 ;

吉永知文 .

中国专利 :CN106461160A ,2017-02-22

[7]

硅晶圆微盲孔金属填充方法及装置 [P].

刘胜 ;

汪学方 ;

吕植成 ;

袁娇娇 ;

徐明海 ;

师帅 ;

王宇哲 .

中国专利 :CN102593049A ,2012-07-18

[8]

具流量控制的晶圆载具气体填充装置 [P].

卢德茂 ;

卢坤镇 ;

叶家政 ;

郑己祥 .

中国专利 :CN203466172U ,2014-03-05

[9]

气体填充装置和气体填充方法 [P].

高野雅士 ;

名仓见治 ;

姥拓郎 .

中国专利 :CN104676241A ,2015-06-03

[10]

气体填充装置和气体填充方法 [P].

名仓见治 ;

高木一 ;

姥拓郎 .

中国专利 :CN104712901A ,2015-06-17

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