共 50 条
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基板承载装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022427117.1
申请日：
2020-10-27
公开(公告)号：
CN213447298U
公开(公告)日：
2021-06-15
发明(设计)人：
吴铭钦
刘峰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
IPC主分类号：
C23C16458
IPC分类号：
代理机构：
北京高沃律师事务所 11569
代理人：
王富强
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-15 | 授权 | 授权 |