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基板承载装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011167305.3
申请日：
2020-10-27
公开(公告)号：
CN112195454A
公开(公告)日：
2021-01-08
发明(设计)人：
吴铭钦 刘峰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
IPC主分类号：
C23C16458
IPC分类号：
代理机构：
北京高沃律师事务所 11569
代理人：
王富强
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-01-26 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20201027
2021-01-08 公开 公开
共 50 条
[1]
基板承载装置 [P]. 
吴铭钦 ;
刘峰 .
中国专利 :CN213447298U ,2021-06-15
[2]
基板承载装置 [P]. 
吴铭钦 ;
刘峰 .
中国专利 :CN112195454B ,2024-07-09
[3]
基板承载装置 [P]. 
陈建智 ;
卢建智 ;
周武松 ;
温焕铭 .
中国专利 :CN100340902C ,2005-01-19
[4]
基板承载装置 [P]. 
廖年强 .
中国专利 :CN2393138Y ,2000-08-23
[5]
基板承载装置 [P]. 
李文宗 .
中国专利 :CN202439990U ,2012-09-19
[6]
基板承载装置 [P]. 
罗欣 ;
龙汝磊 ;
吴萍 ;
史一贺 .
中国专利 :CN223422759U ,2025-10-10
[7]
基板承载装置 [P]. 
郭世佳 .
中国专利 :CN204558440U ,2015-08-12
[8]
基板承载装置 [P]. 
蔡佳仁 .
中国专利 :CN106783724A ,2017-05-31
[9]
基板承载装置 [P]. 
尹植 ;
朱成顺 ;
方仁杰 .
中国专利 :CN213925001U ,2021-08-10
[10]
基板承载装置 [P]. 
叶东益 .
中国专利 :CN201737331U ,2011-02-09
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