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一种晶圆加工用送料装置

被引：0
申请号：
CN202220918314.X
申请日：
2022-04-20
公开(公告)号：
CN217361530U
公开(公告)日：
2022-09-02
发明(设计)人：
陈曙光 林坚 王彭
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21687 H01L2167
代理机构：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357
代理人：
李晓峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-09-02 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆加工用送料装置 [P]. 
李峰 ;
曹晓光 ;
邵秋新 .
中国专利 :CN120473421A ,2025-08-12
[2]
一种晶圆加工用动力夹爪装置 [P]. 
陈曙光 ;
林坚 ;
王彭 .
中国专利 :CN217072407U ,2022-07-29
[3]
一种晶圆切割加工用送料装置 [P]. 
凌永康 ;
何於 ;
林志铭 .
中国专利 :CN117885232A ,2024-04-16
[4]
一种晶圆加工用导送装置 [P]. 
魏盘生 .
中国专利 :CN207883668U ,2018-09-18
[5]
一种铝圆片加工用送料装置 [P]. 
周志光 .
中国专利 :CN210936831U ,2020-07-07
[6]
一种非晶铁芯加工用送料装置 [P]. 
张伟宝 ;
路遥 .
中国专利 :CN221419811U ,2024-07-26
[7]
一种板材加工用送料装置 [P]. 
平汐 .
中国专利 :CN216548367U ,2022-05-17
[8]
一种机械加工用送料装置 [P]. 
高海泉 .
中国专利 :CN215942276U ,2022-03-04
[9]
一种晶圆送料装置 [P]. 
陆敏杰 ;
王兆昆 .
中国专利 :CN117747516A ,2024-03-22
[10]
一种晶圆送料装置 [P]. 
陆敏杰 ;
王兆昆 .
中国专利 :CN117747516B ,2024-05-03
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