超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的纯化方法

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专利类型
发明
申请号
CN200610013970.0
申请日
2006-05-31
公开(公告)号
CN1872682A
公开(公告)日
2006-12-06
发明(设计)人
刘玉岭 王娟 张建新
申请人
申请人地址
300130天津市红桥区光荣道8号
IPC主分类号
C01B33158
IPC分类号
C09G102
代理机构
天津市三利专利商标代理有限公司
代理人
肖莉丽
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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