硅片甩干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320389021.8

申请日：

2013-06-30

公开(公告)号：

CN203501691U

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

周建国夏利荣

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市新北区西夏墅工业园区灵山路10号

IPC主分类号：

F26B1108

IPC分类号：

代理机构：

常州市维益专利事务所 32211

代理人：

何学成

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	授权	授权
2015-08-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101622016911 IPC(主分类):F26B 11/08 专利号:ZL2013203890218 申请日:20130630 授权公告日:20140326 终止日期:20140630

共 50 条

[1]

硅片甩干装置 [P].

周建国 ;

夏利荣 .

中国专利 :CN104251608A ,2014-12-31

[2]

硅片的清洗甩干装置 [P].

杨兆明 ;

颜凯 ;

中原司 .

中国专利 :CN211125597U ,2020-07-28

[3]

一种用于甩干硅片的甩干装置 [P].

吴则春 .

中国专利 :CN217114322U ,2022-08-02

[4]

硅片清洗甩干装置 [P].

邹俊卓 ;

姜电华 ;

昝将林 ;

王志勇 .

中国专利 :CN221387817U ,2024-07-23

[5]

硅片清洗甩干装置 [P].

石少华 ;

俞超 ;

吕海强 ;

刘飞 ;

杜同江 .

中国专利 :CN203265120U ,2013-11-06

[6]

硅片清洗甩干装置 [P].

应小专 .

中国专利 :CN206435519U ,2017-08-25

[7]

一种硅片甩干装置 [P].

李欢 ;

卜廷宇 .

中国专利 :CN210165665U ,2020-03-20

[8]

硅片甩干机 [P].

经运敏 .

中国专利 :CN200946965Y ,2007-09-12

[9]

硅片的清洗甩干装置 [P].

杨兆明 ;

颜凯 ;

中原司 .

中国专利 :CN111029284A ,2020-04-17

[10]

一种硅片甩干机 [P].

江富琴 .

中国专利 :CN209295553U ,2019-08-23

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