硅片清洗甩干装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202323096673.5
申请日
2023-11-16
公开(公告)号
CN221387817U
公开(公告)日
2024-07-23
发明(设计)人
邹俊卓 姜电华 昝将林 王志勇
申请人
河南省华兴隆新能源科技有限公司
申请人地址
462600 河南省漯河市临颍县产业集聚区经五路与黄龙路交叉口向西100米路北
IPC主分类号
B08B3/10
IPC分类号
B08B13/00 F26B5/08 H01L21/67 H01L21/683
代理机构
郑州云企轻舟专利代理事务所(普通合伙) 41216
代理人
吴素华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
硅片清洗甩干装置 [P]. 
石少华 ;
俞超 ;
吕海强 ;
刘飞 ;
杜同江 .
中国专利 :CN203265120U ,2013-11-06
[2]
硅片清洗甩干装置 [P]. 
应小专 .
中国专利 :CN206435519U ,2017-08-25
[3]
硅片的清洗甩干装置 [P]. 
杨兆明 ;
颜凯 ;
中原司 .
中国专利 :CN211125597U ,2020-07-28
[4]
一种硅片清洗甩干装置 [P]. 
陈忠海 .
中国专利 :CN208407897U ,2019-01-22
[5]
硅片甩干装置 [P]. 
周建国 ;
夏利荣 .
中国专利 :CN203501691U ,2014-03-26
[6]
一种硅片清洗甩干机 [P]. 
季丽 .
中国专利 :CN205680661U ,2016-11-09
[7]
一种硅片清洗甩干机 [P]. 
陈忠海 .
中国专利 :CN208062032U ,2018-11-06
[8]
甩干机清洗装置 [P]. 
郑东 ;
肖迪 .
中国专利 :CN213781996U ,2021-07-23
[9]
硅片甩干机 [P]. 
经运敏 .
中国专利 :CN200946965Y ,2007-09-12
[10]
一种硅片单片清洗甩干机构 [P]. 
靳立辉 ;
杨骅 ;
杜晨朋 ;
白子川 ;
吕原杰 .
中国专利 :CN218414487U ,2023-01-31