电容式微机电结构传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620052291.3

申请日：

2016-01-19

公开(公告)号：

CN205491100U

公开(公告)日：

2016-08-17

发明(设计)人：

孟珍奎刘政谚周晔王琳琳刘雨微叶武振

申请人：

申请人地址：

518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座

IPC主分类号：

H04R714

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

电容式微机电结构声音传感器 [P].

潘政民 ;

王云龙 ;

孟珍奎 .

中国专利 :CN1874616A ,2006-12-06

[2]

一种电容式微机电传感器 [P].

朱恩成 ;

陈磊 ;

张强 ;

王栋杰 ;

胡洪 .

中国专利 :CN115931185B ,2024-06-11

[3]

微机电电容式传感器结构和装置 [P].

马蒂·柳库 ;

亚科·罗希奥 ;

汉努·韦斯泰里宁 .

中国专利 :CN107406250A ,2017-11-28

[4]

电容式微机械风速风向传感器 [P].

王立峰 ;

黄庆安 ;

秦明 .

中国专利 :CN103439527B ,2013-12-11

[5]

一种电容式微机电磁场传感器 [P].

陈洁 ;

张澄 ;

胡静洁 ;

李嘉鹏 .

中国专利 :CN103472412A ,2013-12-25

[6]

电容式微机械加速度传感器 [P].

马蒂·柳库 ;

维尔-佩卡·吕特克宁 ;

安斯·布卢姆奎斯特 .

中国专利 :CN105452876A ,2016-03-30

[7]

电容式微压传感器 [P].

陈才 .

中国专利 :CN2098678U ,1992-03-11

[8]

单极性电容式微位移传感器 [P].

梁亮 ;

莫孔嘉 .

中国专利 :CN208688420U ,2019-04-02

[9]

电容式微机械气压传感器及其制备方法 [P].

李维平 ;

兰之康 .

中国专利 :CN112284608B ,2021-01-29

[10]

一种电容式微机械加速度传感器 [P].

井后升 .

中国专利 :CN210323083U ,2020-04-14

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