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电容式微机械气压传感器及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010965714.1
申请日：
2020-09-15
公开(公告)号：
CN112284608B
公开(公告)日：
2021-01-29
发明(设计)人：
李维平
兰之康
申请人：
申请人地址：
210046 江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号
IPC主分类号：
G01L912
IPC分类号：
代理机构：
北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226
代理人：
李明;赵吉阳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 9/12 申请日:20200915 |
| 2021-01-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-08-02 | 授权 | 授权 |