一种半导体晶圆厂房气体监控系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721398777.3

申请日：

2017-10-26

公开(公告)号：

CN207557198U

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

罗小盛

申请人：

申请人地址：

518100 广东省深圳市宝安区西乡大道西侧碧海富通城2栋3座502

IPC主分类号：

G01N3300

IPC分类号：

G08C1702

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

徐杨松

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-29	授权	授权
2019-10-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 33/00 申请日:20171026 授权公告日:20180629 终止日期:20181026

共 50 条

[1]

一种半导体晶圆厂用锂电池模组 [P].

张怀 ;

陈冲 ;

吴凡 .

中国专利 :CN211907525U ,2020-11-10

[2]

一种半导体厂房气体安全监测装置 [P].

黄明乐 .

中国专利 :CN220490781U ,2024-02-13

[3]

一种半导体厂房新风系统 [P].

黄平 .

中国专利 :CN217383215U ,2022-09-06

[4]

一种垃圾填埋场气体监控系统 [P].

简捷 ;

许怡 .

中国专利 :CN207557213U ,2018-06-29

[5]

一种半导体晶圆厂锂电池储能系统 [P].

张怀 ;

陈冲 ;

吴凡 .

中国专利 :CN111711239A ,2020-09-25

[6]

一种半导体制造车间环境监控系统 [P].

陈宝玉 .

中国专利 :CN207317870U ,2018-05-04

[7]

一种气体监控系统 [P].

宗迪佳 ;

王骏杰 ;

黄京来 .

中国专利 :CN104766449A ,2015-07-08

[8]

一种半导体有害气体监控装置 [P].

邓志涛 ;

汤晴峰 .

中国专利 :CN213777026U ,2021-07-23

[9]

一种半导体气体传感器 [P].

张小水 ;

祁明锋 ;

刘建钢 ;

钟克创 ;

高胜国 .

中国专利 :CN201773082U ,2011-03-23

[10]

一种半导体气体传感器动态检测系统 [P].

邓勇辉 ;

周欣然 .

中国专利 :CN206601356U ,2017-10-31

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