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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-12-07 | 授权 | 授权 |
| 2020-09-15 | 专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 | 专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):C23C 14/12 合同备案号:X2020980005237 让与人:杭州赛威斯真空技术有限公司 受让人:浙江赛威科光电科技有限公司 实用新型名称:用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置 申请日:20180402 授权公告日:20181207 许可种类:普通许可 备案日期:20200821 |