线性蒸发源以及蒸发镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323340785.0

申请日：

2023-12-07

公开(公告)号：

CN222455183U

公开(公告)日：

2025-02-11

发明(设计)人：

牛二辉邹福志林循恩孙永杰

申请人：

江苏先导微电子科技有限公司

申请人地址：

221116 江苏省徐州市高新技术产业开发区先导南路2号

IPC主分类号：

C23C14/28

IPC分类号：

代理机构：

北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387

代理人：

张向琨

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸发源系统以及蒸发镀膜设备 [P].

吴月荣 ;

卢剑刚 .

中国专利 :CN218026310U ,2022-12-13

[2]

用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置 [P].

金炯 ;

杨林 ;

姜琼 .

中国专利 :CN208201095U ,2018-12-07

[3]

用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源 [P].

郭书周 .

中国专利 :CN206015081U ,2017-03-15

[4]

用于电阻加热式蒸发镀膜机的有机蒸发源 [P].

郭书周 .

中国专利 :CN106191788A ,2016-12-07

[5]

蒸发源及蒸发镀膜设备 [P].

詹勇军 ;

臧世伟 .

中国专利 :CN119615069A ,2025-03-14

[6]

蒸发源及蒸发镀膜设备 [P].

臧世伟 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223201897U ,2025-08-08

[7]

蒸发源及蒸发镀膜设备 [P].

臧世伟 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223201898U ,2025-08-08

[8]

一种真空镀膜机蒸发源 [P].

刘阳 ;

刘庆云 .

中国专利 :CN222274664U ,2024-12-31

[9]

电阻蒸发镀膜机 [P].

胡永强 ;

张婷 .

中国专利 :CN102199747A ,2011-09-28

[10]

电阻蒸发镀膜机 [P].

胡永强 ;

张婷 .

中国专利 :CN202090046U ,2011-12-28

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