一种实现自动蒸发陶瓷靶材制备双层陶瓷层的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110658101.8

申请日：

2021-06-11

公开(公告)号：

CN113564536B

公开(公告)日：

2021-10-29

发明(设计)人：

彭徽滕晓丹王博郭洪波宫声凯

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1406 C23C1408

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20210611
2021-10-29	公开	公开
2022-08-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种实现电子束物理气相沉积自动蒸发陶瓷靶材的装置 [P].

彭徽 ;

滕晓丹 ;

王博 ;

郭洪波 ;

宫声凯 .

中国专利 :CN111607762B ,2020-09-01

[2]

一种新的ZrO2陶瓷靶材制备方法 [P].

黄大勇 ;

韩绍娟 ;

许壮志 ;

薛健 ;

张明 ;

王世林 .

中国专利 :CN102086122A ,2011-06-08

[3]

热障涂层用大尺寸氧化锆陶瓷靶材的制备方法 [P].

岳鑫 ;

肖飞 ;

吕延庆 ;

许壮志 ;

薛健 ;

张明 .

中国专利 :CN109721356A ,2019-05-07

[4]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

徐梦星 ;

李路成 .

中国专利 :CN107188555A ,2017-09-22

[5]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

李路成 ;

徐梦星 .

中国专利 :CN107188554A ,2017-09-22

[6]

一种热蒸发镀膜陶瓷靶材及制备方法 [P].

许积文 ;

余晨旭 ;

杨玲 ;

王华 .

中国专利 :CN114560712A ,2022-05-31

[7]

一种BMN陶瓷靶材的制备方法 [P].

高虹 .

中国专利 :CN104944951A ,2015-09-30

[8]

一种旋转陶瓷靶材的制备方法 [P].

庄维新 ;

庄志杰 .

中国专利 :CN101705467A ,2010-05-12

[9]

一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法 [P].

王星明 ;

刘宇阳 ;

彭程 ;

储茂友 ;

白雪 .

中国专利 :CN108101533B ,2018-06-01

[10]

一种用于磷光测温功能涂层的陶瓷靶材的制备方法 [P].

牟仁德 ;

刘德林 ;

何利民 ;

杨文慧 .

中国专利 :CN116409992B ,2024-08-09

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