一种热蒸发镀膜陶瓷靶材及制备方法

被引：0

申请号：

CN202210165519.X

申请日：

2022-02-23

公开(公告)号：

CN114560712A

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

许积文余晨旭杨玲王华

申请人：

申请人地址：

541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号

IPC主分类号：

C04B3580

IPC分类号：

C04B35453 C04B35622 C04B3564 C23C1408 C23C1430 D01F908

代理机构：

桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134

代理人：

白洪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/80 申请日:20220223
2022-05-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种RPD镀膜陶瓷靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

卢晓鹏 ;

关泽汉 ;

刘杰 ;

张志强 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN120504536A ,2025-08-19

[2]

一种RPD镀膜陶瓷靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

卢晓鹏 ;

关泽汉 ;

刘杰 ;

张志强 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN120504536B ,2025-09-23

[3]

一种陶瓷靶材及其制备方法 [P].

沈文兴 ;

朱刘 ;

童培云 ;

白平平 .

中国专利 :CN110171974A ,2019-08-27

[4]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

徐梦星 ;

李路成 .

中国专利 :CN107188555A ,2017-09-22

[5]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

李路成 ;

徐梦星 .

中国专利 :CN107188554A ,2017-09-22

[6]

一种磁控溅射陶瓷靶材及制备方法 [P].

许积文 ;

余晨旭 ;

杨玲 ;

王华 ;

周贤界 .

中国专利 :CN114436641B ,2022-05-06

[7]

一种陶瓷蒸发靶材及其制备方法和光伏电池 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN119143510B ,2025-02-07

[8]

一种陶瓷蒸发靶材及其制备方法和光伏电池 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN119143510A ,2024-12-17

[9]

一种实现自动蒸发陶瓷靶材制备双层陶瓷层的装置 [P].

彭徽 ;

滕晓丹 ;

王博 ;

郭洪波 ;

宫声凯 .

中国专利 :CN113564536B ,2021-10-29

[10]

一种真空镀膜用高熵陶瓷靶材及其制备方法 [P].

杨俊峰 ;

张临超 ;

谢卓明 ;

刘瑞 ;

杨瑞芳 .

中国专利 :CN117088681B ,2025-08-12

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