一种RPD镀膜陶瓷靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511003257.7

申请日：

2025-07-21

公开(公告)号：

CN120504536B

公开(公告)日：

2025-09-23

发明(设计)人：

周贤界徐红星卢晓鹏关泽汉刘杰张志强黄小玲黄勇彪

申请人：

深圳众诚达应用材料股份有限公司

申请人地址：

518128 广东省深圳市宝安区新安街道海滨社区宝兴路6号海纳百川总部大厦A座5层

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C23C14/24 C04B35/622 C04B35/626

代理机构：

北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845

代理人：

李芳芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	公开	公开
2025-09-23	授权	授权
2025-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20250721

共 50 条

[1]

一种RPD镀膜陶瓷靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

卢晓鹏 ;

关泽汉 ;

刘杰 ;

张志强 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN120504536A ,2025-08-19

[2]

玻璃陶瓷靶材及其制备方法 [P].

李俊生 ;

程海峰 ;

周永江 ;

郑文伟 ;

童思超 .

中国专利 :CN104152853B ,2014-11-19

[3]

一种热蒸发镀膜陶瓷靶材及制备方法 [P].

许积文 ;

余晨旭 ;

杨玲 ;

王华 .

中国专利 :CN114560712A ,2022-05-31

[4]

一种陶瓷靶材及其制备方法 [P].

沈文兴 ;

朱刘 ;

童培云 ;

白平平 .

中国专利 :CN110171974A ,2019-08-27

[5]

一种氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

杨涛 ;

李强 ;

邱用雪 ;

林智成 ;

官凌宇 ;

纪生晓 ;

张汉都 .

中国专利 :CN120794610A ,2025-10-17

[6]

一种RPD镀膜用的氧化锌基靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN118547253A ,2024-08-27

[7]

一种RPD镀膜用的氧化锌基靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN118547253B ,2024-10-18

[8]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

徐梦星 ;

李路成 .

中国专利 :CN107188555A ,2017-09-22

[9]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

李路成 ;

徐梦星 .

中国专利 :CN107188554A ,2017-09-22

[10]

一种陶瓷蒸发靶材及其制备方法和光伏电池 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN119143510B ,2025-02-07

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