一种RPD镀膜用的氧化锌基靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410989141.4

申请日：

2024-07-23

公开(公告)号：

CN118547253A

公开(公告)日：

2024-08-27

发明(设计)人：

周贤界徐红星黄小玲黄勇彪

申请人：

深圳众诚达应用材料股份有限公司

申请人地址：

518128 广东省深圳市宝安区新安街道海滨社区宝兴路6号海纳百川总部大厦A座5层

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/08 C04B35/453 C04B35/622 C04B35/64

代理机构：

北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845

代理人：

李建刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20240723
2024-08-27	公开	公开
2024-10-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种RPD镀膜用的氧化锌基靶材及其制备方法 [P].

周贤界 ;

徐红星 ;

黄小玲 ;

黄勇彪 .

中国专利 :CN118547253B ,2024-10-18

[2]

一种氧化锌靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

王奇峰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118930247A ,2024-11-12

[3]

氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114057481B ,2022-02-18

[4]

掺镓氧化锌靶材及其制备方法 [P].

刘成龙 ;

顾德盛 ;

李开杰 ;

王奇峰 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118908719A ,2024-11-08

[5]

一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118955117A ,2024-11-15

[6]

一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P].

罗斯诗 ;

李开杰 ;

邵学亮 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117776709A ,2024-03-29

[7]

利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品 [P].

林杰 ;

张群 ;

邢俊鹏 ;

侯则良 .

中国专利 :CN103641468B ,2014-03-19

[8]

一种氧化锌铝靶材的制备方法 [P].

李开杰 ;

邵学亮 ;

张来稳 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113213913A ,2021-08-06

[9]

一种氧化锌基靶材及其制备方法与应用 [P].

黎琦 ;

方宏 ;

冯海权 ;

蒙心钰 .

中国专利 :CN119954508A ,2025-05-09

[10]

高致密度氧化锌基靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

高明 ;

唐培新 ;

张路长 ;

郝权 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

姜海 ;

姚伟 .

中国专利 :CN104416160B ,2015-03-18

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