一种提高镀膜均匀性的镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202121867710.6
申请日
2021-08-10
公开(公告)号
CN215365960U
公开(公告)日
2021-12-31
发明(设计)人
龙何军
申请人
申请人地址
528400 广东省中山市火炬开发区敬业路13号的A栋厂房第一层B区
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
C23C1450
代理机构
中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327
代理人
杨连华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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