气动控制装置及系统、光刻设备

被引：0

申请号：

CN202011590575.5

申请日：

2020-12-29

公开(公告)号：

CN114688296A

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

徐腾肖黄风良李博书朱正平

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

F16K717

IPC分类号：

F16K1122 F16K31126 F15B1302 G03F720

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F16K 7/17 申请日:20201229
2022-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻控制方法、控制装置、光刻系统及存储介质、电子设备 [P].

陈一宁 ;

罗悦宁 ;

高大为 .

中国专利 :CN120335256A ,2025-07-18

[2]

一种车身气动控制装置及系统 [P].

韩明军 ;

郑武 ;

农振 .

中国专利 :CN205908543U ,2017-01-25

[3]

流体温度控制装置及光刻设备 [P].

张利 ;

周二虎 ;

曹红波 .

中国专利 :CN214474656U ,2021-10-22

[4]

流体温度控制装置及光刻设备 [P].

张利 ;

周二虎 ;

曹红波 .

中国专利 :CN113359896A ,2021-09-07

[5]

环境控制系统及光刻设备 [P].

藕俊彦 ;

张楠 ;

游继光 ;

王明 .

中国专利 :CN117666669A ,2024-03-08

[6]

控制光刻设备的方法和器件制造方法、用于光刻设备的控制系统及光刻设备 [P].

E·M·赫尔斯埃博 ;

P·A·J·蒂内曼斯 ;

R·布林克霍夫 ;

P·J·赫利斯 ;

J·K·卢卡什 ;

L·J·P·维尔希斯 ;

I·M·A·范唐克拉尔 ;

F·G·C·比基恩 .

中国专利 :CN108369382B ,2018-08-03

[7]

致动光刻设备的致动单元的控制装置、具有控制装置的光刻设备及操作控制装置的方法 [P].

S.克朗 ;

L.伯杰 ;

R.基塞尔 ;

P.威杰拉尔斯 .

中国专利 :CN110291463A ,2019-09-27

[8]

控制装置、光学系统、光刻设备和方法 [P].

C·里克特 .

德国专利 :CN118974663A ,2024-11-15

[9]

快门装置、快门控制系统及光刻设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121165409A ,2025-12-19

[10]

气动控制装置及座便器 [P].

徐明诰 ;

臧运青 ;

郭宾 .

中国专利 :CN206888111U ,2018-01-16

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